在真空熱處理設備這個類別當中，真空淬火爐是運用較為廣泛和具有代表性的典型設備，它具有以下一些特征：
1.嚴厲的真空密封眾所周知，真空熱處理時工件進行加熱及淬火都在密閉的真空爐內進行，因而保證真空淬火爐的作業(yè)真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。為了保證真空爐的真空性能，爐體有必要選用氣密焊接，上面開孔很少，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都是密封結構。
2.大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下運用真空淬火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業(yè)的，這些材料具有耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等特色。如國內現有真空淬火爐首要選用石墨作加熱與隔熱構料，它在大氣狀態(tài)下被加熱極易氧化，因而，常規(guī)熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
3.真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件（水冷電極）、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下作業(yè)。在這種極為晦氣的條件下作業(yè)，有必要保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因而，各部件依據不同的情況設置有水冷裝置，以保證真空爐能夠正常運轉并有滿足的運用壽命。
4.對工件加熱選用低電壓大電流，在真空熱處理爐內，當真空度到幾百帕(Pa)時，通電導體在較高的電壓下，就會產生輝光放電現象，嚴峻的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業(yè)電壓，一般都不超越80-100伏。一起電熱元件盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太窄等，以避免輝光放電或者弧光放電的產生。
5.自動化程度高由于金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個甚至幾十個動作來完結。這些動作都在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫完畢后，金屬工件進行淬火工序須多個動作而且要在較短時間內完結。在這樣敏捷的條件來完結許多動作，是很容易形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，大部分真空淬火爐選用了較高的自動化程序來進行操控。
