真空爐（vacuum furnace）是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵體系聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)h。爐內(nèi)加熱體系可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
真空爐一般由爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空體系、供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有主動澆注設(shè)備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
真空爐是利用熱媒水的相變進(jìn)行熱交換的，燃料焚燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當(dāng)溫度上升至某真空狀態(tài)下的飽和溫度時，蒸發(fā)成飽和和蒸汽，完結(jié)一次相變過程。凝結(jié)水流進(jìn)蒸發(fā)室繼續(xù)吸熱，完結(jié)相變循環(huán)。真空熱水鍋爐的下部結(jié)構(gòu)由焚燒室和傳熱管束組成；上部為真空室，其間插入了U型管熱交換器；真空室外接抽氣單元，使真空室保持穩(wěn)定的真空度，并將真空室內(nèi)不凝結(jié)氣體抽出，進(jìn)步U型熱交換器的換熱效率。
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