雖然真空氣氛爐在進(jìn)行燒結(jié)與氣氛熱處理時(shí)有著很好的優(yōu)勢(shì)，但在真空燒結(jié)時(shí)，常產(chǎn)生金屬的揮發(fā)丟失，關(guān)于含碳材料的脫碳可以用添加粉末料中的含碳量以及控制真空度來解決，除此之外，還需要在運(yùn)用過程中注意以下內(nèi)容：
1、氰化鉀(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
2、除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。
3、一旦發(fā)現(xiàn)有阻礙安全之事物時(shí)，請(qǐng)當(dāng)即告訴有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
4、請(qǐng)節(jié)約純水用量。
5、實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無人持續(xù)運(yùn)用，請(qǐng)關(guān)閉特殊氣體，保留N2活動(dòng)，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如：cleanhood燈火、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)順手關(guān)掉。
6、處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不當(dāng)心碰到HF時(shí)，請(qǐng)馬上沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15分鐘。
7、長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒運(yùn)用屆時(shí)，請(qǐng)朝上防止污染。
8、晶片進(jìn)出爐口時(shí)，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，防止污染爐管。
9、石英玻璃制品請(qǐng)當(dāng)心運(yùn)用，防止決裂，引起嚴(yán)重割傷。
10、防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良造成地板漬水。