真空燒結爐主要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體維護燒結及慣例燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它規(guī)劃構思新穎，操作便利，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
真空燒結爐冷卻水異常
1、承認加熱電源已中止。
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應趕快采納應急措施，如能確保水量，請持續(xù)保持真空，如不能采納應急措施，保持原狀，承認設備冷卻下來。
3、冷卻水發(fā)生異常時，設備處于中止狀況，立刻接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，假如冷卻水中止了，假如不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵或許被損壞。
停電
1、停電時，假如斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快恢復時，重新啟動設備，持續(xù)運轉如需求較長時刻，則將設備保持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快恢復時，重新啟動設備，假如需求較長時刻時，則保持原狀，讓設備天然冷卻下來。
加熱電源掉電
1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地毛病。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處有必要銜接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)毛病，掉電的原因可以以為因為電介質擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮氣)中止
1、抽真空開端前，氣體充入時刻長或許無法充入時，請承認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯(lián)的設備要悉數(shù)中止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能中止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統(tǒng)。
4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
真空室壓力惡化
1、真空排氣時刻比通常長時，應把設備停下來進行檢查，依據(jù)真空室內構造物不同狀況下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。
2、經過壓力上升測試或許用氦氣檢漏來承認是漏氣還有放氣的影響。
在真空和維護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般選用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和維護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀況時，加壓成型。這種工藝需求一種真空熱壓燒結才能實現(xiàn)。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特色。目前這種爐型在我國還未見定型產品。